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國興技術(shù)箱式真空等離子體處理系統(tǒng)GX-V1503

國興技術(shù)箱式真空等離子體處理系統(tǒng)GX-V1503

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產(chǎn)品展示

國興技術(shù)箱式真空等離子體處理系統(tǒng)GX-V1503

箱式真空等離子體處理系統(tǒng)GX-V1503

主機(jī)尺寸:2000W x 1700D x 2500H mm(可定制化)

真空腔體尺寸1140W x 1560D x 960H mm(可定制化)

電極板配置16 片垂直電極板,15 個處理位置

有效區(qū)域1115W x 630H mm(可定制化)

等離子體電源:定制化

工藝氣體控制

標(biāo)配:

O2、N2:0~5000sccm;

CF4:0~400sccm;

Ar:0~2000sccm;

可選: 額外一路工藝氣體,流量范圍可定制


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